上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室

开放平台

扫描探针显微镜

型号：NTEGRA Prima

规格：
(1) 扫描范围：下扫描式50μm×50μm×6μm，上扫描式100μm×100μm×10μm
(2) 小量程扫描范围：≥1μm×1μm×1μm
(3) 最大样品尺寸：直径40mm，厚度15mm
(4) 最大样品质量：100g
(5) 非线性度：X,Y ≤0.1%
(6) 噪声水平：XY向0.02mm，Z向0.03mm

共享联系方式：张月文 zhangyuewen@sjtu.edu.cn