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扫描探针显微镜
型号:
NTEGRA Prima
规格:
(1) 扫描范围:下扫描式50μm×50μm×6μm,上扫描式100μm×100μm×10μm
(2) 小量程扫描范围:≥1μm×1μm×1μm
(3) 最大样品尺寸:直径40mm,厚度15mm
(4) 最大样品质量:100g
(5) 非线性度:X,Y ≤0.1%
(6) 噪声水平:XY向0.02mm,Z向0.03mm
共享联系方式:
张月文 zhangyuewen@sjtu.edu.cn
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